ІФТТМТ
Інститут фізики твердого тіла, матеріалознавства та технологій
НАН України

Системи сепарації плазми

         
КПД по току зустрічні потоки прямолінійний сепаратор
Криволінійний сепаратор плазми. ККД по струму: 8 ... 35%. Сепаратор з перетворенням зустрічних потоків в радіальні.
КПД по струму до 96%.
прямолінійний сепаратор плазми. ККД по струму 10 ... 15%.


Прямолінійний магнітоелектричний фільтр

магнітоелектричний фільтр

блок схема установки, ККД по струму до 50%


Криволінійний L-подібний магнітоелектричний фільтр

L-подібний фільтр без сепарації Джерело плазми покриття
Блок схема установки Покриття без сепарації Джерело плазми з кріволініймим сепаратором Покриття, отримане із звстосуванням сепаратора

Вакуумно-дугове джерело плазми з T-подібним магнітним фільтром, що має два активних плеча

L-подібний фільтр L-подібний фільтр
Розріз джерела сепарований плазми з Т-подібним фільтром Схематичне зображення джерела плазми з Т-подібним магнітним фільтром


Радіальний розподіл концентрації компонентів і товщини покриття

радіальний розподіл

Радіальний розподіл швидкості осадження TiAlN покриття на різному віддаленні від виходу плазмовода


регулювання складу TiAlN радіальний розподіл
Радіальний розподіл концентрації алюмінію в TiAlN покриттях різного складу Радіальний розподіл швидкості осадження TiAlN покриттів різного складу

Macroparticle tracer - програма для розрахунку траєкторій руху макрочасток в фільтруючих системах вакуумно-дугової плазми

Macroparticle tracer трасування макрочасток

синя лінія - траєкторії макро частин, поглинених стінками фільтра; Т-подібний фільтр:           
зелена лінія - реберна система з мінімальною складністю; червона лінія - з максимальним ступенем очистки плазми.           
Кількість макрочасток на виході фільтра зменшено в ~ 65 разів.


Реберна система для T-образного магнітного фільтра

реберна система

Залежність кількості макро частин на виході фільтра від кількості їх зіткнень.
Синя лінія - класичний тороїдальний фільтр,
червона лінія - Т-подібний фільтр (реберна система з максимальним ступенем очищення плазми).

go to ISSPMT