Відділ газофазних і плазмохімічних процесів

Відділ засновано 1 вересня 1986 р. Він складається з лабораторії плазмохімічних процесів, групи організаційно-технічного забезпечення та групи композиційних матеріалів, у складі яких працюють 1 доктор і 2 кандидати наук.

Результати робіт опубліковано в більш ніж 300 друкованих роботах, серед яких 1 монографія, 20 патентів і 3 дисертації. З більш детальним списком можна ознайомитися тут.

Основні напрями роботи:

– дослідження процесів газофазной кристалізації металів, сплавів і з'єднань на їх основі за допомогою термічного та плазмохімічного відновлення металовмісних сполук;

– одержання корозійностійких, зносостійких і жаростійких покриттів для машинобудування, хімічної промисловості, ракетобудування, електронної техніки, медицини;

– виготовлення виробів у вигляді тиглів, трубопроводів, сосудів високого тиску, нагрівачів, оснащення для високотемпературних вакуумних печей.

Основні досягнення:

Досліджено кінетику перерозподілу фаз у системі MoSi2–W при 1500 – 1800°С. Визначено кінетичні параметри росту нижчих силіцидів (Mo,W)5Si3 і зменшення шару вищого силіциду MoSi2 в залежності від температури окислення. Встановлено, що стабільність системи MoSi2–W перевищує стабільність систем MoSi2–Mo и WSi2–W;

Залежність швидкості розпаду

Залежність швидкості розпаду MoSi2 від часу нагріву

Залежність швидкості росту

Залежність швидкості росту фази (Mo,W)5Si3 від часу нагріву

Проведено дослідження впливу легуючих добавок ренію на характеристики міцності вольфрам-ренієвих сплавів. Показано, що добавки ренію, введені у вольфрам при спільному осадженні з газової фази їх фторидів, призводять до підвищення міцності при вигині від ∼ 340 МПа для вольфраму до ∼ 800 МПа для вольфрам-ренієвих сплавів із вмістом ренію ∼ 11 мас.%. Температура крихкопластичного переходу Тх при цьому знижується від 600 до ∼ 200°С.

Міцність і Tx конденсатів, отриманих за різних умов осадження на підкладках різної форми та за різних температур (Tос)
Склад конденсатуВимірювана величинаTос = 450°CTос = 550°CTос = 650°C
Циліндрична підкладкаПлоска підкладкаЦиліндрична підкладкаПлоска підкладкаЦиліндрична підкладкаПлоска підкладка
Wσвиг, МПа340415365330415380
W + 3% Re280805785750770815
W + 11% Re775920850825885740
WTx, °C580685630570550640
W + 3% Re225240245235210255
W + 11% Re180200220175205215

Отримано бар'єрні щільнозціплені покриття на основі тугоплавких металів, які були нанесені відповідно до розроблених технологій на Zr або V оболонки ТВЕЛів, які можуть забезпечити їх захист від впливу ядерного палива на основі карбідів урану або металевого урану, а також підвищити їх надійність.

Результати випробувань зчеплення комбінованих покриттів, нанесених на Zr і V підкладки
МатеріалТовщина підслою, мкмСередня границя
міцності зчеплення, МПа
підкладкипокриття
Zr*Mo-W0,2
V*Mo-W0,3
Zr**Mo-W5
V**Mo-W6
ZrMo-W210
VMo-W212
ZrMo-W620
VMo-W622
ZrMo-W1082
VMo-W-Cr1086
ZrMo-W1090
VMo-W-Cr1086

Шляхом випробувань на діаметральне стиснення між двома паралельними площинами, досліджено характеристики міцності частинок діоксиду урану з покриттями зі сплаву хрому, ванадію, Al2O3–Cr і Al2O3–V в температурному інтервалі 20 – 900°С. Показано, що міцність частинок залежить від товщини та матеріалу покриття, міцності паливного осердя (керна), швидкості навантаження і температури випробування. Міцність частинок зростає зі збільшенням товщини покриття та підвищенням температури проведення випробування, досягаючи максимального значення при 700 – 900°С. Характер руйнування покриттів змінюється від міжкристалічного (20 – 150°С) до пластичного (650 – 900°С). Запропоновано методику статистичної обробки результатів випробувань і ймовірнісної оцінки міцності частинок. Показано, що стійкість частинок з покриттями добре описується за допомогою ймовірнісної залежності Вейбулла, що дозволяє прогнозувати руйнування частинок за будь-якого навантаження. Проведено ймовірнісне оцінювання залежності міцності частинок від навантаження за різних температурних значень;

Залежність міцності на стиск

Залежність міцності на стиск від товщини покриття для частинок з покриттям

Вплив температури на міцність частинок

Вплив температури на міцність частинок

Вихідні частки

Вихідні частки

Деформовані частки

Деформовані частки

Проведено дослідження з отримання кавітаційностійкого покриття на основі карбіду бору за допомогою водневого відновлення трьохлористого бору BCl3 і толуолу C7H8. Експериментальні результати з визначення величини ерозійного руйнування показали, що зразок з покриттям на основі карбіду бору піддається кавітаційному зносу в 2,5 рази менше, ніж аустенітна сталь.

Величина ерозійного руйнування

Величина ерозійного руйнування

Сублімаційне джерело

Сублімаційне джерело

Вперше, завдяки газофазному методу, отримано джерело атомів Si–Ge–B і Si–Ge–P на підкладках Mo і W для сублімаційного осадження гетероепітаксійних структур Si1–x–Gex(0,01 ≤ x ≤ 0,05), легованих B і P. Джерело дозволяє розширити номенклатуру речовин що наносять, діапазони робочих температур випаровування і тисків парів Si–Ge–B і Si–Ge–P, що значно покращує експлуатаційні властивості й технологічність осадження.

Показано, що отримана багатошарова гетероепітаксійна структура на монокристалічних підкладках Si і Si0,97–Ge0,03:B(∼ 1018 см−3) з буферним шаром Si0,95–Ge0,05:B(∼ 1018 см−3) та верхніми епітаксійними шарами Si0,95–Ge0,05:B(1017 – 1018 см−3) і Si0,99–Ge0,01:B(∼ 1018 см−3) характеризуються фото-ЕРС та фоточутливістю в ближчій ІЧ-області випромінювання на довжині хвиль ∼ 0,8 – 1 мкм, що важливо для подальшого розвитку оптоелектронних приладів.

Досліджено структуру та склад одержуваних з ХОР «Бархос» карбідохромових покриттів, а також їх корозійна і ерозійна стійкість у залежності від параметрів процесу осадження. Вперше виявлено утворення дворівневої шаруватої структури карбідохромового покриття і ефект зниження шорсткості поверхні виробів після осадження покриття з Ra = 0,7 – 1,2 мкм до Ra = 0,4 – 0,6 мкм. Встановлено, що підвищена стійкість покриттів зумовлена ​​нанорозмірами структурних елементів покриття та їх шаруватою структурою, а максимальні значення адгезії, корозійної і ерозійної стійкості досягаються за температур осадження 500 – 550°С.

Кавітаційне зношування

Кавітаційне зношування

Зносостійкість

Зносостійкість

Порівняльні електрохімічні характеристики

Порівняльні електрохімічні характеристики

Стійкість до пластичної деформації

Стійкість до пластичної деформації

Структура відділу

– Лабораторія плазмохімічних процесів.
– Група газофазного і плазмохімічного осадження матеріалів.

На даний момент, основним напрямом діяльності лабораторії є: газофазне і плазмохімічне відновлення моносилану та тетрахлориду кремнію; одержання легованих плівок кремнію; вивчення властивостей конденсатів; одержання кавітаційностійких покриттів на вигинах комутаційних трубопроводів парогенераторів; розробка процесу осадження текстурованих вольфрамових покриттів для катодів приладобудування.

Публікації

1.П.И. Глушко, А.Ю. Журавлев, Н.А. Семенов, Н.А. Хованский, Б.М. Широков, А.В. Шиян, В.В. Щербакова. Исследование кинетики образования фаз в системе MoSi2-W в условиях нагрева при температурах 1500 – 1800°С. Физическая инженерия поверхности. 2014, т. 12, №2, с. 219 – 222.
2.А.Д. Осипов. О зависимостях характеристик распределения примесей у некоторых систем, содержащих элементы IV-VI групп. Вестник Национального технического университета «Харьковский политехнический институт». 2014, №28, с. 98 – 102.
3.А.Д. Осипов. О зависимостях температур изменения напряжений течения у некоторых элементов IV группы и других характеристик. Вестник Национального технического университета «Харьковский политехнический институт». 2014, №53, с. 179 – 184.
4.А.Д. Осипов. О зависимостях энтальпий образования у некоторых материалов, содержащих элементы IV–VII группы и других характеристик. Вестник Национального технического университета «Харьковский политехнический институт». 2014, №27, с. 148 – 152.
5.С.А. Крохмаль, Т.Н. Зуева. Получение карбидохромовых покрытий на изделиях сложного профиля и исследование защитных свойств материала покрытия. Физическая инженерия поверхности. 2014, т. 12, №2, с. 269 – 278.
6.А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, В.В. Левенец, Б.М. Широков, Г.В. Бокучава, Г.Ш. Дарсавелидзе. Сублимация Si-Ge из силицидогерманидов тугоплавких металлов. Georgia Chemical Journal. №14(1), с. 70 – 72.
7.А.Д. Осипов. О зависимостях характеристик поверхностной энергии у некоторых материалов, содержащих элементы IV-VI групп. Вестник Национального технического университета «Харьковский политехнический институт». 2014, №53, с. 173 – 178.
8.А.Н. Дериземля, П.Г. Крышталь, В.И. Радченко, Д.А. Хижняк, Б.М. Широков, А.И. Евсюков. Расчёт генератора для возбуждения индукционного разряда. Вестник Национального технического университета «Харьковский политехнический институт».
9.А.Д. Осипов. Применение эффективных потенциалов для определения температур изменения напряжений течения, плавления у некоторых элементов III-VI группы и других характеристик. УФЖ.
10.П.И. Глушко, А.Ю. Журавлев, Н.А. Хованский, Б.М. Широков, А.В. Шиян. Осаждение W и WRe сплавов газофазным и плазмохимическим методами. Вопросы Атомной Науки и Техники. Серия «Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники». 2016, №1(101), с. 108 – 111.
11.С.А. Крохмаль, Б.М. Широков, Т.Н. Зуева, Н.А. Семенов. Структурные особенности карбидохромовых покрытий, получаемых методом MOCVD из ХОЖ «Бархос». Сборник научных статей по результатам, полученным в 2013 – 2015 по программе «Ресурс».
12.С.А. Крохмаль, Б.М. Широков, Т.Н. Зуева. Физико-химические свойства карбидохромовых покрытий, полученных методами MOCVD из ХОЖ «Бархос». Сборник научных статей по результатам, полученным в 2013 – 2015 по программе «Ресурс».
13.П.И. Глушко, А.Ю. Журавлев, Н.А. Хованский, Б.М. Широков, А.В. Шиян, Н.А. Семенов. Влияние силицидных покрытий на прочностные и пластические свойства сплава 5ВМЦ. Журнал физики и инженерии поверхности. 2016, т. 1, №2, с. 166 – 169.
14.С.А. Крохмаль, Т.Н. Зуева, А.А. Сущая. Применение технического продукта «Бархос» в CVD–методе получения карбидохромовых покрытий. Журнал физики и инженерии поверхности. 2016, т. 1, №2, с. 175 – 185.
15.С.А. Крохмаль, Т.Н. Зуева, А.А. Сущая. Структура и свойства многослойных карбидохромовых покрытий, получаемых методом MOCVD из технического продукта «Бархос». Журнал физики и инженерии поверхности. 2016, т. 1, №2, с. 194 – 206.
16.А.Ю. Журавлёв, Н.А. Хованский, Д.А. Хижняк, Б.М. Широков, Н.А. Семёнов, А.В. Шиян, С.В. Стригуновский, А.И. Евсюков, А.Б. Шевцов, Е.А. Назаренко, Н.Н. Пилипенко. Получение карбида кремния химическим газофазным, плазмохимическим и сублимационным методами. Вопросы Атомной Науки и Техники. Серия «Физика плазмы». 2017, №1(107), с. 191 – 194.
17.А.Ю. Журавлёв, А.В. Шиян, Н.А. Семёнов, Б.М. Широков. Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора. Вопросы атомной науки и техники. Серия «Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение». 2017, №2(108), с. 156 – 159.
18.О.Ю. Журавльов, О.В. Шиян, М.О. Семенов, Б.М. Широков, С.В. Стригуновський. Осадження карбіду бору газофазним методом. Проблеми корозійно-механічного руйнування, інженерія поверхні, діагностичні системи: матеріали конференції КМН-2017. Львів, 2017, с. 119 – 122.
19.K.S. Bakai, S.A. Bakai, K.V. Kovtun, V. Gorbatenko. The Effect of Ultrasonic Vibrations on the Mechanical Properties of Nanocrystalline Titanium. Problems of Atomic Science and Technology. Series «Vacuum, Pure Materials, Superconductors». 2018, №1(113), p. 154 – 161.
20.А.Y. Ghuravlyov, B.M. Shirokov, А.V. Shijan. Gas-phase Deposition of Cavitation-resistant Coatings Based on Boron Carbide. Chemistry, Physics and Technology of Surface. 2018, v. 9, No. 4, p. 368 – 372.
21.A.N. Deryzemlia, A.I. Yevsiukov, V.I. Radchenko, D.A. Khizhnyak, P.G. Kryshtal, A.Yu. Zhuravlov, A.V. Shijan, S. Strigunovskiy, Yu.A. Pelypets, B.M. Shirokov. Hydrogen Reduction of Silicon Tetrachloride in Low Temperature Non-equilibrium Plasma of a Induction RF discharge. Problems of Atomic Science and Technology. Series «Plasma Physics». 2019, No. 1(119), p. 222 – 224.

Колектив

ШИРОКОВ БОРИС МИХАЙЛОВИЧ

ШИРОКОВ БОРИС МИХАЙЛОВИЧ

Начальник відділу

Доктор технічних наук за спеціальністю 01.04.07 – «Фізика твердого тіла»

Старший науковий співробітник

тел. +38(057) 335-68-16

e-mail: shirokov@kipt.kharkov.ua

Область наукових інтересів:

дослідження процесів одержання багатокомпонентних покриттів газофазним, плазмохімічним і сублімаційним методами.

ЖУРАВЛЬОВ ОЛЕКСАНДР ЮРІЙОВИЧ

ЖУРАВЛЬОВ ОЛЕКСАНДР ЮРІЙОВИЧ

Начальник лабораторії

Кандидат технічних наук за спеціальністю 05.02.01 – «Матеріалознавство»

Стипендіат НАНУ

тел. +38(057) 335-65-68

e-mail: girik081179@gmail.com

Область наукових інтересів:

вивчення процесів газофазного та плазмохімічного осадження матеріалів на основі Si, SiC, B4C, W, Mo, MoSi2, WSi2 тощо.

КРОХМАЛЬ СЕРГІЙ ОЛЕКСАНДРОВИЧ

КРОХМАЛЬ СЕРГІЙ ОЛЕКСАНДРОВИЧ

Науковий співробітник

тел. +38(057) 335-52-24

e-mail: krokhmal@kipt.kharkov.ua

Область наукових інтересів:

хімічне осадження з газової фази карбідохромових покриттів з високою швидкістю при низьких температурах; захист від корозійного та ерозійного зносу поверхні виробів складного профілю, довгомірних каналів малого перетину, капілярів і глухих порожнин.