Новые системы формирования плазменных потоков
С высоким коэффициентом переноса массы плазмообразующего материала на изделие. Дают возможность получать моно- и многослойные покрытия толщиной до 1-2 мм.
Наше оборудование
Длинномерные катоды:
плоские - для равномерной обработки больших поверхностей (длина катода не имеет принципиальных ограничений).
Камера установки с планарным катодом |
Катодный узел длинномерного испарителя с цилиндрическим катодом |
Комплексная обработка изделий
- Bключает ионное азотирование в высокоплотных потоках плазмы со cкоростью 10 -150 мкм/ час на глубину до 500 мкм, плюс нанесение покрытий необходимой толщины.
- Повышает ресурс работы деталей и инструментов на 300 -2000%.
Технология получения многослойных пленок
- От металлических до любых композиций металлов и их соединений (типа оксидов, нитридов, карбидов) с уникальными свойствами.
- Обеспечивают высоко-эфективное повышение износостойкости и долговечности покрытых деталей.
Металлизация
Порошков и поликристаллических зерен сверхтвердых материалов, в том числе природных и синтетических алмазов (диаметр 400 мкм и более).
Внешний вид и основные характеристики установки с прямолинейным фильтром
| диаметр катода | 60мм |
| ток дуги до: | 50-100А |
| ионный ток на выходе фильтра до: | 5А |
| Высокое качество фильтрации плазмы | |
| скорость осаждения покрытий до: | 18мкм/ч |
| Эффективная область однородности покрытия: на диаметре(без вращения подложки) |
5%, 180мм |
Высокое качество фильтрации иллюстрирует изображение метки на поверхности подложки из монокристаллического кремния до и после нанесения покрытия: пленка хорошо воспроизводит рельеф подложки.
 |
 |
| Кремниевая подложка без покрытия |
Подложка с покрытием Ti толщиной 10 мкм |
