Методы исследования:
- Вторичная ионная масс-спектрометрия и масс-спектрометрия газовых ионов;
- Ядерно-физические методы;
- Электронная микроскопия;
- Методы адсорбции;
- Нейтронная спектроскопия;
- Электрофизические методы;
- Наноиндентирование.
Метод получения нанокристаллических структур
Ионно-стимулированное осаждение (IBAD method). В данной технологии металлы испаряются путем электронно-лучевого нагрева, а осаждаемая пленка бомбардируется пучком газовых ионов с энергией несколько десятков кэВ. Данный метод у нас реализован в двух конфигурациях: с горизонтальным расположением источника газовых ионов и в конструкции, когда источник ионов располагается на одном фланце с электронно-лучевыми испарителями, вертикальное расположение).
Преимущества метода ионно-стимулированного осаждения
- высокая степень неравновесности процесса позволяет наносить нанокристаллические покрытия;
- повышенная температура не является обязательным параметром процесса осаждения, что дает возможность формировать мелкозернистую структуру пленок, как плотно упакованную, так и содержащую микропористость;
- применение источника ионов и источника пара, которые используются друг независимо от друга, делает данную технологию управляемой, воспроизводимой и гибкой;
- возможность осаждения пленок практически из любых металлов и сплавов возможность осаждения пленок практически из любых металлов и сплавов;
- возможность получать многокомпонентные структуры;
- возможность изменять стехиометрию и структуру на стадии роста покрытия.
Ионно-стимулированное осаждение
преимущества метода:
- Высокая степень неравновесности процесса.
- Независимая регулировка плотности ионного пучка и скорости осаждения металла.
- Возможность получать многокомпонентные структуры.
- Возможность изменять стехиометрию и структуру на стадии роста покрытия.
