Разработаны технологические процессы изготовления изделий в виде тиглей, трубопроводов, сосудов высокого давления, нагревателей, оснастки для высокотемпературных вакуумных печей.

Покрытия можно наносить на изделия, имеющие разнообразную форму, на внутреннюю поверхность глухих и сквозных отверстий.

Характеристики:

• Микротвердость 350 - 700 кг/мм².
• Плотность 19,25 - 19,30 г/см³.
• Cтойкость пресс-штампового инструмента увеличивается в 4 - 5 раз.
• Tермоустойчивость изделий - до 2500°С.

В частности, плазмохимическим методом получают изделия и покрытия из вольфрама, молибдена, нитрида бора на деталях, предназначенных для работы в условиях высоких температур и давлений.

Области применения изделий:

• в высокотемпературной технике с рабочей температурой до 2500°С в качестве тиглей и нагревателей из вольфрама для выращивания монокристаллов квантовой радиоэлектроники (рубин, сапфир и др.);
• в электронике в качестве покрытий для создания омических контактов, металлизации кремниевых пластин, термокатодов, защиты электронных блоков от излучения, в мощных импульсных приборах;
• в ядерной энергетике в виде покрытий на частицах ядерного горючего, на капсулах с изoтопными источниками, на эмиттерах для термоэмиссионных преобразователей тепловой энергии в электрическую;
• в химической промышленности в виде защитных покрытий от коррозии;
• для защиты пресс-штампового инструмента при синтезе лекарственных препаратов.

Газофазные методы кристаллизации, позволяют получать качественные конденсаты и характеризуются высокой скоростью осаждения (до 500...600 мкм/ч), позволяют наносить равнотолщинные покрытия на изделия сложной формы, реализуются на простом оборудовании.

Суть метода заключается в термическом разложении или водородном восстановлении металлсодержащих соединений (карбонидов, хлоридов, фторидов и др.) на нагретой до 400...1100°С поверхности с образованием конденсированной твердой металлической фазы.

установка «Янтарь»

Bозможно получение сплавов при одновременном восстановлении нескольких металлсодержащих газов или соединений в виде карбидов, оксидов, нитридов, боридов, силицидов при проведении процессов кристаллизации металов с добавками углеродсодержащего газа, кислорода, азота, хлорида бора или кремния соответственно.

установка «Поток»

Разработан новый класс технологического оборудования. Реакционные камеры установок «Сирень», «Янтарь», «Поток» обеспечивают возможность осуществления реакций газофазного и плазмохимического восстановления металлсодержащих газов при формировании изделий и осаждении коррозионностойких, износостойких и жаростойких покрытий для машиностроения, химической промышленности, ракетостроения, электронной техники, медицины.

Реакторы и пресс-штамповый инструмент с покрытиями успешно прошли испытания на заводе эндокринных препаратов в г. Харькове.

Тигли используются в процессах выращивания монокристаллов квантовой электроники в институте «Монокристаллов», г. Харьков и испарения драгметаллов при производстве интегральных схем на предприятии «Сатурн», г. Киев.