Центр коллективного пользования ННЦ ХФТИ

Оборудование

Центра коллективного пользования ННЦ ХФТИ
“Аналитическое материаловедение наноструктурных систем ядерной энергетики”

EM-09100 IS– Ion Slicer EM-09100 IS – устройство прецизионного ионного травления

образцов для ПЭМ

Устройство для препарирования образцов, используемое в просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ). Позволяет утонять фольги для ПЭМ путем травления их поверхности пучком ионов аргона.
Ускоряющее напряжение ионов	1-8 кВ
Скорость травления	5мкм/мин(при 8 кВ для Si)
Газ травления	Аргон чистотой 99,9999%
Давление газа	0,15 ± 0,5 МПа (1,0-2,0 кг/см²)
Угол падения ионов	0-6°